Annealing; Germanium; Implants; Lasers; Silicon; Solids; Temperature distribution; antimony; arsenic; boron; germanium; laser annealing; phosphorus; rapid thermal annealing; solid solubility;
机译:两步离子注入和微波退火对硅锗中掺杂剂活化的影响
机译:关于绝缘子上锗化硅(SGOI)中n和p型掺杂剂的活化以及掺杂剂行为与退火条件的关系的研究
机译:镍诱导的低温掺杂离子激活磷激活的高性能锗n + / p结
机译:植入掺杂剂活化比较硅和锗
机译:金铜合金催化剂组成对硅和锗纳米线中晶体生长和掺杂剂分布的影响。
机译:硅和锗纳米线中与直径有关的掺杂剂位置
机译:锗和硅不同掺杂单晶的抗张特性