Boron; Films; Ion implantation; Ions; Silicon; Solids; Temperature distribution; boron; cold implantation; condensed films; recoil implantation;
机译:利用BO_2〜-二次离子进行硅中浅硼注入SIMS深度剖析的特征
机译:硼注入硅中缺陷和表面特征的漫射X射线条纹
机译:硼注入硅中:硅/二氧化硅氧化边界的角度配置处的偏析
机译:硅冷硼植入的特点
机译:离子注入的硼在硅中的扩散:晶格缺陷和共注入杂质的影响。
机译:硼植入的硅基质可物理吸附DNA折纸
机译:硼注入硅中缺陷和表面特征的漫射X射线条纹