silicon nanowire; nanolithography; ICP cryogenic dry etching; thermal oxidation; wire deflection; resonant frequency;
机译:垂直硅纳米线阵列模式的微悬臂谐振器,用于增强对香烟烟雾气溶胶的检测
机译:利用垂直硅纳米线共振器的飞克气溶胶纳米颗粒质量传感
机译:NIOSH现场研究团队评估:半导体制造工厂中工人暴露于雾化的金属氧化物纳米颗粒的情况
机译:用于气溶胶暴露评估的垂直纳米线谐振器的制造
机译:具有垂直排列的纳米线的微电极的设计,制造和集成,用于传感和识别应用。
机译:NIOSH现场研究小组评估:半导体制造厂中工人暴露于气溶胶化的金属氧化物纳米颗粒的情况
机译:通过聚焦离子束注入制备功能机电纳米线谐振器
机译:用于制造垂直生长的半导体和金属/半导体纳米线的通用解决方案阶段方法。