EUV lithography; computational lithography; EUV masks; phase shift masks; telecentricity error; multiobjective optimization;
机译:先进的EUV掩模和成像建模
机译:用于高级光学和EUV光刻的掩模衍射和投影成像建模
机译:用于高级光学和EUV光刻的掩模衍射和投影成像建模
机译:较高NA替代EUV面膜概念的建模研究
机译:案例研究中学生关于板块构造理论的替代概念和概念变化。
机译:食品模式建模作为用于铁相关营养素的多日膳食召回的替代评估方法:概念证明研究
机译:缺陷位置对EUV面膜反射强度的影响