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【24h】

Microstructure modified HfO/sub 2/ using Zr addition with Ta/sub x/ C/sub y/ gate for improved device performance and reliability

机译:微结构改性HFO / sub 2 /使用ZR加入TA / SUB X / C / SUB Y /栅极,用于改进的器件性能和可靠性

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