2D torsional MEMS micromirror; sidewall electrodes; sliding mode control (SMC);
机译:具有侧壁电极的2D扭转MEMS微镜的二阶滑模控制
机译:带有侧壁电极的二维Mems微镜的闭环控制,用于激光扫描显微镜系统
机译:具有侧壁电极的MEMS微镜的设计,制造和特性
机译:具有侧壁电极的2D扭转MEMS微镜的滑动模式控制
机译:具有侧壁电极的双轴扭转MEMS微镜的仿真。
机译:电磁MEMS扭转微镜的动态建模与防扰控制考虑车辆潮羊段外部振动
机译:电磁MEMS扭转微镜的动态建模与防扰控制考虑车辆潮羊段外部振动
机译:利用卡尔曼滤波对mEms微镜进行线性二次控制