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窒素イオン注入により作製したバタン媒体の再生信号解析によるパタン品質の評価

机译:通过氮离子注入制备的巴旦培养基的再生信号分析评估图案质量

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摘要

将来の高密度記録を実現するパタン媒体の作製技術として,非磁性イオンをビットヤトラックの間に注入 してこれらを磁気的に分離する方法が注目されている.我々は窒素イオンを注入することでパタン媒体を作 製し,イオンを注入した部分の飽和磁化低減が再生信号品質の向上に重要であることを報告した.本研究 では,窒素イオン注入により作製したパタン媒体の再生信号を詳細に解析し,窒素イオンを注入する際のイ オンェネルギーの違いがパタンの品質に与える影響を評価したので報告する.
机译:作为在未来实现高密度记录的图案介质的制造技术,在位磁道之间注入非磁性离子并使其磁分离的方法引起了人们的关注,我们注入了氮离子,据报道,降低了饱和磁化强度。注入部分的离子对提高再生信号质量很重要,在本研究中,详细介绍了注入氮离子产生的图案介质的再生信号,我们分析和评估了注入氮离子时离子能量差异的影响。图案的质量。

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