原子拡散を利用したフラット•パターニング法による001 L1_0-FePtRhドット間交換結合パターンの作製と磁化過程

摘要

次世代の磁気記録媒体としてビットパターン媒体(BPM)が注目されている。フラット•パターニング法は、 膜を形状的には加工せず、イオン照射や原子拡散により磁気特性のみをパターン化する手法であり、埋戻し/ 表面研磨の工程が必要なく、膜表面の平滑性(フラットさ）を維持できる特徴をもつ。BPMでは、高密度化 に伴い、反転磁場分布の拡がりが問題となる。最近シミュレーションにより、ドット間(スペーシング領域) に小さな磁化を与え、ドット同士を弱く交換結合させることで、反転磁場分布が狭くなることが報告された 。実験では、hcp構造のCoPtを用い、ミリング時間でドット間の残膜厚さをコントロールし、ドット間の 磁化と交換結合力を制御することで、実際に反転磁場分布が狭くなることが報告された。