EUV lithography, trade-off, SFET, molecular glass resist, chemically amplified resist;
机译:从极紫外光刻技术的化学放大抗蚀剂的线宽和边缘粗糙度的剂量-间距矩阵重建潜像
机译:化学放大的富勒烯抗蚀剂的线宽和边缘粗糙度的剂量-间距矩阵分析
机译:使用高压CD-SEM的EUV抗蚀剂的CD计量:收缩率,图像清晰度,可重复性和线条边缘粗糙度
机译:用于材料和工艺设计的抗蚀剂图案分析 - 来自线宽和边缘粗糙度的剂量间距矩阵的参数提取和横截面SEM图像
机译:植物秸秆中横截面形态的高吞吐量表型:样品制备,图像处理和特征提取
机译:多孔复合材料的微观结构分析:药物溶解和通过多孔基质扩散的动态成像。
机译:所选材料化学成分对切削刃粗糙度的影响及HAZ的宽度
机译:图像模式的预处理和特征提取 - 应用于胸部X射线图像,