photolithography; modeling; poly etch; two-stage OPC; resist simulation; etch simulation;
机译:大气模型的简单单层城市雨棚模型:与多层模型和平板模型的比较
机译:预测皮肤温度和损伤范围从单层到多层矿石的分析模型的建立
机译:在半干旱的西班牙东南部,灌木植被斑块中的空间异质性聚集:多层模型与单层模型
机译:用于蚀刻偏置模型的N和P掺杂波动的多层模型与单层模型
机译:模拟网络结构,对多层网络系统进行分层,并开发网络块配置模型以了解和改善住宅建筑中的节能。
机译:结构重构引起的复杂壁内微观结构对心房纤颤稳定性的影响:三维多层建模研究的启示
机译:紧束缚模型和直接间隙/间接间隙过渡 单层和多层mos $ _2 $
机译:数值流体动力学模型在海洋分析/预测中的应用。第一部分Walter Hansen的单层模型。