机译:具有MEMS主动对准功能的硅平台及其在Si光子封装中的潜在应用
机译:使用锗光电二极管和集成在硅光子平台上的硅可变光衰减器实现快速光功率稳定
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机译:硅光子封装中的2-D微定位和锁定光学球镜头的MEMS平台
机译:用于光学玻璃波导制造的干银电迁移工艺以及用于光子学和MEMS封装的无助熔剂技术。
机译:基于体硅的单芯片光子收发器作为用于光学互连的芯片级光子I / O平台
机译:用于云计算和数据中心的数字硅光子MEMS开关的倒装芯片封装
机译:光子晶格与表面mEms集成的高效光学mEms