piezoelectric sensor; piezoresistor; strain gage; ZnO; piezoresistive; vibration;
机译:用于结构振动检测的高分辨率MEMS压电应变传感器
机译:压电-压阻耦合MEMS传感器,用于测量宽带宽和大动态范围的电场
机译:具有大压阻传感器的SOI-MEMS压电扭转平台
机译:用于振动检测的压阻和压电MEMS应变传感器
机译:高分辨率MEMS应变传感器,用于检测硬盘驱动器悬架上的振动。
机译:基于压阻MEMS应变片的铣削高性能扭矩传感器
机译:一种用于碳纳米复合宽带应变传感器的模糊逻辑压电融合算法