accelerometers; capacitive sensors; inertial systems; microsensors; missiles; MEMS capacitive accelerometer; extreme shock performance; gun hard; high performance; high shock survivability; inertial measurement unit; mechanical displacement; missiles; post shock stab;
机译:基于SOI技术的MEMS差动电容仪及近垂直倾斜角度测量来表征及其分辨率估计
机译:基于MEMS悬臂梁的电容式功率传感器互调失真的测量
机译:基于加速度计的惯性测量单元的鲁棒设计
机译:基于MEMS电容式加速度计和速率传感器的机枪硬惯性测量单元
机译:动态范围极限条件下的惯性传感器设计:集成式CMOS-MEMS高g和mu g加速度计。
机译:一种集成的金膜温度传感器用于高精度MEMS加速度计的原位温度测量
机译:基于MEMS的惯性传感器的评估与选择小型船舶惯性测量单元
机译:将集成mEms / CmOs技术应用于惯性测量单元的关键问题