scatterometry; PSM; CD metrology; etching;
机译:高精度测量通过光学接触组装的薄膜过滤器和固体过滤器的残留气隙厚度
机译:在新SUBARU上使用相干极紫外散射显微镜观察极紫外掩模的临界尺寸
机译:衰减相移掩模,用于缓解极端紫外光刻中接触孔图案中的光子散粒噪声效应
机译:使用光学散射仪从先进的相移掩模和晶圆测量CD蚀刻深度
机译:使用非接触激励和测量的矩形板的运行模态分析。
机译:微型植入物在缩回期间在空间闭合和锚固损失方面比较二维线和矩形线:一项前瞻性临床研究
机译:完全印刷的双频电源分频器由CRLH相移线小型化