kohler illumination; koehler factor; 193 nm; high-resolution optical metrology; linewidth profile;
机译:193和157nm激光照射对TMOS–NiCl _2溶胶-凝胶衍生材料的表面性能的影响
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机译:聚焦电子束激发的Y 2 sub> O 3 sub>:Eu 3 + sup>荧光粉薄膜中阴极发光的纳米光斑用于高分辨率光学显微镜
机译:高分辨率光学计量的科勒照明
机译:纳米粒子与193 nm光的相互作用:光学特性和粒子合成。
机译:PhenoFly规划工具:用于无人区域系统的高分辨率光学遥感的飞行规划
机译:开发用于光罩计量和审查的5 kHz固态193 nm固态光化光源
机译:用于高分辨率纳米制造的长相干长度193 nm激光器;最终的评论。 2007年8月2日至2008年5月27日