low-energy EB; mask-less; EBDW; CP; EBIS;
机译:具有字符投影曝光和生产调度规则的电子束直接书写系统
机译:通过低能电子束直接写入在硅衬底上直接制作热稳定氧化物图形的高灵敏度无机抗蚀剂
机译:一种在线无书写盒,无行向,无字符方向的手写文本识别系统
机译:字符投影型低能量电子束直接写入系统的最新进展
机译:电子束投影光刻掩模系统在曝光期间的热机械变形。
机译:海藻糖糖醇抗性可通过电子束光刻直接写入蛋白质图案
机译:通过低能电子束光刻直接图案化化合物半导体薄氧化层,用于连续选择性区域生长
机译:直接电子束写入形成氮化硅结构。