Laser interferometric transducers of linear displacements for inspection and control systems

机译：检测和控制系统的线性位移激光干涉换能器

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Design principles of homodyne laser interferometric linear displacement transducers (LIDT) realizing within their interface modules an original digital data processing algorithm are considered. The use of designed LIDT as a feedback transmitter in X-Y table control system of laser photoplotter CLWS-300 is given as an example. The system provides table positioning accuracy of ?5 nm. Maximum velocity of the table is 1 m/s. Laser displacement measurer with small-size digital indicator unit is described. The results of inspection and calibration of measuring systems of unique processing center of Italian company "Berardy" are presented.

机译：在其界面模块中实现的Homodyne激光干涉线性位移换能器（LIDT）的设计原理考虑了原始数字数据处理算法。作为示例，给出了使用设计的LIDT设计的LIDT作为X-Y台控制系统中的反馈发射器。该系统提供了表定位精度为5 nm。表的最大速度为1米/秒。描述具有小型数字指示器单元的激光位移测量器。提出了意大利公司独特加工中心测量系统检验和校准的结果。

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来源
《Conference on Lasers for Measurements and Information Transfer》|2006年||共8页
会议地点
作者
Vladimir M. Vedernikov;
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作者单位

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会议组织
原文格式 PDF
正文语种
中图分类信息处理（信息加工）;
关键词
laser displacement transducers; inspection and control systems;

机译：激光位移传感器;检查和控制系统;

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