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【24h】

Laser Spike Annealing: A Novel Post-Porosity Treatment for Significant Toughening of Low-k Organosilicates

机译：激光峰值退火：一种新型的孔隙后处理，可显着增韧低k有机硅酸盐

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《Interconnect Technology Conference, 2006 International》|2006年|P.146-148|共3页
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Volksen W.; Dubois G.; Kellock A.; Magbitang T.P.; Miller R.D.; Cohen S.; Simonyi E.E.; Ramirez L.; Yun Wang;
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中图分类工业技术;
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