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【24h】

Thin-Oxide Charging Damage to Microelectronic Test Structures in an Electron-Cyclotron-Resonance Plasma

机译：电子回旋共振等离子体中的薄氧化物充电损坏微电子测试结构。

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《Next Generation Internet Networks, 2005 》|2005年|p.188-191|共4页
会议地点
作者
Friedmann J.B.; Shohet J.L.; McVitie J.P.; Ma S.M.;
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正文语种
中图分类自动化技术、计算机技术 ;
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