控制电子回旋共振(RCE)等离子体中电子温度的设备

摘要

本发明涉及一种控制RCE等离子室(1)中的电子温度的设备。该设备包括至少一个位于能量大于一预先确定的能量的电子路径上的调制器(100)，以便形成这些电子的障碍。本发明用于离子源和等离子机。