Optical interconnect; Optical waveguide; Oxynitride; Optical interconnect; Optical waveguide; Oxynitride;
机译:LPCVD富硅氮化硅热氧化制备的氧氮化硅的电荷俘获应力效应
机译:通过低压化学气相沉积富硅氮化硅热氧化制备的氧氮化物栅介质
机译:通过富硅氮化硅的热氧化,最大限度地减少氮氧化硅中的氢含量
机译:采用氮氧化硅氮化硅热氧化制备的氮氧化硅的光波导制造
机译:活性氮中硅的热氮化(薄介电体,等离子体处理,超大型材料,氮化硅,氧化硅)
机译:由磷和硼掺杂的富硅氧化物和氮氧化物生长的硅纳米晶体中没有自由载流子
机译:Nd掺杂富硅氧化硅和富硅氮化硅波导的引导光致发光研究
机译:硅芯片上紧凑型硅氮氧化物波导的制备与表征。