thermoelectricity; magnetic sensors; magnetic field measurement; micromechanical devices; built-in self test; on-chip electrothermal stimulus generation; BIST; self-testable MEMS-based magnetic field sensor; system architecture; sensor response preprocessing; external response analysis; digital automatic test equipment;
机译:利用传感器自场优化用于片上磁珠检测的磁阻传感器电流
机译:具有简单谐振结构和线性电响应的基于MEMS的磁场传感器
机译:集成了片上自校准功能的压阻微悬臂磁场传感器
机译:基于MEMS的磁场传感器的片上电热刺激产生
机译:使用新型厚光刻技术的基于MEMS的磁性微结构和传感器。
机译:基于MEMS的磁场映射霍尔传感器阵列的设计与应用
机译:基于MEMS的磁场映射霍尔传感器阵列的设计与应用
机译:高频带中的磁场产生和B点传感器表征