tantalum compounds; CMOS integrated circuits; resistors; copper; integrated circuit interconnections; TaN thin film resistors; RFIC applications; CMOS designs; Cu interconnects; high precision resistor; temperature coefficient of resistance characteristics; voltage ramp stress; critical current; constant voltage stress; reliability evaluation; reliability degradation model; joule heating effects; TaN;
机译:反应溅射制备的电极与TaN {sub} x薄膜电阻的接触电阻特性
机译:用于毫米波应用的反应溅射TaN薄膜电阻的制造与表征
机译:嵌入式无源电阻器的反应溅射控制TaN薄膜的电阻率
机译:棕褐色薄膜电阻的特征和可靠性
机译:用于AMLCD和AMOLED应用的非晶硅和多晶硅薄膜晶体管的可靠性表征。
机译:TaN薄膜电阻器上低温氮化技术在温度传感器中的作用机理
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