copper; tantalum; sputtered coatings; integrated circuit metallisation; dielectric thin films; leakage currents; sputtered RF Ta; PID; dual damascene technology; barrier metal sputtering process; dual gate oxide; low-throughput RF Ta; high-throughput RF Ta; plasma charging damage; antenna structure gate leakage; thick gate leakage; plasma induced damage; 0.13 micron; Ta-Cu;
机译:具有原位蚀刻表面修饰的等离子蚀刻技术,可实现高度可靠的低k / Cu双镶嵌互连
机译:有效的铜表面预处理,用于具有高耐等离子体性的超低介电常数(k = 2.2)的高可靠性22 nm节点铜双镶嵌互连
机译:0.04μm闪存技术中金属焊盘蚀刻引起的等离子体损伤导致隧道氧化物降解的研究
机译:Cu双镶嵌技术PID溅射的RF TA研究血浆诱导损伤
机译:研究工艺参数变化对离子束溅射Sc2O3和HfO2薄膜的材料性能和激光损伤性能的影响。
机译:非热大气等离子体通过诱导细胞表面损伤快速消毒耐多药微生物
机译:用于双镶嵌技术的Si3N4 / Cu / Ta薄膜系统的研究