pattern collapse; rinse-liquid sequence; surfactant; single layer;
机译:ArF抵抗中的图案塌陷改善:添加表面活性剂的漂洗和软烘烤的影响
机译:使用具有纳米级棒状图案的Si压模改善热纳米压印过程中非均匀抗蚀图案的性能
机译:Brinkmann,S. Stand公司:抵抗自我改善的热潮,剑桥:政治出版社。 2017年。 138 pp。£12.99(PBK)ISBN 978-7 Brinkmann,S。Brinkmann Brinkmann,SS立场:抵抗自我改善的热潮立场:抵抗自我改善的热潮,剑桥剑桥:政治压力 。 2017年2017年。 138 138 pp。£12.99(PBK)ISBN 978-1-50951426-7
机译:使用气相抗蚀剂氟化减少60 nm以下栅极图案的线边缘粗糙度和抗蚀剂后图案塌陷
机译:砷化镓晶片的表面化学研究在化学放大的抗蚀剂构图过程中进行,并通过荧光进行抗蚀剂研究。
机译:基于数值分析的腐蚀对抗压拱动作和裂纹作用的影响抵抗逐步崩溃
机译:ARF抗蚀剂的模式塌陷改善:表面活性剂加入漂洗和软烘烤的影响
机译:具有三角形图案的穿孔板的塌陷表面,韧带效率在0.05和0.50之间