ArF resist shrinkage; ADI; AEI; CD bias; CD SEM; APC;
机译:临界尺寸扫描电子显微镜测量中ArF抗蚀剂图案收缩的机理
机译:使用高压CD-SEM的EUV抗蚀剂的CD计量:收缩率,图像清晰度,可重复性和线条边缘粗糙度
机译:CF C:CH和CF C:CD中振动和收缩效应的广义均方振幅
机译:避免100nm ArF光刻中ArF抗蚀剂图案收缩的CD计量学
机译:偶极子模型错误指定对诱发电位振幅和振幅比估计值的偏差和方差的影响。
机译:ANRIL与p16-CDKN2A / p15-CDKN2B / p14-ARF基因簇在多种肿瘤类型中的过度表达之间存在高度正相关表明ANRIL-ARF双向启动子的激活受到抑制
机译:多肿瘤类型中的ANRIL和P16-CDKN2A / P15-CDKN2B / P14-ARF基因簇过度表达的高正相关性表明DERICUTION活化ANRIL-ARF双向启动子
机译:用于arF光刻的酸催化单层抗蚀剂