Surfactant; Developer; Chemically amplified photoresist; Wettability;
机译:聚(2-三甲基甲硅烷基-2-丙基甲基丙烯酸酯)的合成及其作为可干显影的化学放大光刻胶的应用
机译:高阶光刻:双保护的化学扩增的光致抗蚀剂(DD-CAMP)
机译:在正色调化学放大光致抗蚀剂体系中添加低分子化合物的溶出促进作用
机译:在发育化学扩增的光致抗蚀剂中的反应前诱导粗糙度
机译:通过施加电场在化学放大的光刻胶中置换各向异性酸催化剂。
机译:通过非化学放大光刻胶的EUV定向极性切换对复杂纳米特征的高度有序阵列进行构图
机译:用于极端紫外光刻的聚碳酸酯基非化学放大光刻胶