机译:用于嵌段共聚物光刻的非优先缓冲层的无抗蚀剂构图
机译:通过使用无机嵌段共聚物胶束单层作为电子束光刻的负阻剂制备的微纳米结构界面。
机译:EB / UV混合光刻技术在正性抗蚀剂层中形成负图案
机译:使用可变形状电子束直接写入光刻技术印刷的正负60nm以下抗蚀剂图案的缺陷检查
机译:图案化有机硅烷自组装单分子层,嵌段共聚物光刻和薄膜性能,以及光诱导形成聚合物刷和单分子层。
机译:通过自组装形成层状聚苯乙烯嵌段聚(二甲基硅氧烷)二嵌段共聚物通过纳米压印光刻技术制备的纳米图案。
机译:通过纳米压印光刻制备的局部基底上的层状聚苯乙烯 - 嵌段 - 聚(二甲基硅氧烷)二嵌段共聚物的自组装纳米图案