Integrated Circuits: Design Aides - Simulation; Algorithms; Performance; Design; Lithography; Mask Model; Parameterized Model Order Reduction;
机译:极紫外光刻中掩模光谱仿真的快速模型和掩模阴影效应分析
机译:掩模对准仪光刻仿真-从光刻仿真到工艺验证
机译:光学仿真中具有像差和虚假掩模边缘效应的全焦点航拍图像建模
机译:用于光刻仿真的参数化掩模模型
机译:使用有限差分时域仿真研究块掩模光刻技术的变化。
机译:硼烷力学性能的分子动力学模拟:化合价场模型和Stillinger-Weber势的参数化
机译:X射线光刻的验证和移动掩模深X射线光刻的开发仿真系统
机译:晶界裂缝的多尺度建模:从原子模拟参数化的粘性区模型