immersion; second generation fluid; hydrocarbons; refractive index; absorbance; thermo-optic coefficient; interference imaging; fluid handling; radiation durability; active recycle;
机译:用于第三代193nm浸没式光刻的高指数材料的现状
机译:193nm浸没式光刻的定量图案塌缩计量学
机译:193nm浸没式光刻的定量图案塌缩计量学
机译:用于193nm浸没式光刻的第二代流体
机译:用于浸没式光刻的水性和有机液体的折射率和吸收率。
机译:溶剂浸渍压印光刻:高性能半自动程序
机译:193nm浸入光刻中烃流体的降解