193nm与x射线光刻技术比较

摘要

分别从光源、照明系统、掩模、光刻胶、光刻机、光刻工艺、成本等七个方面对193nm与x射线光刻技术进行了对比分折,介绍了目前它们的一些进展情况,并对它们的应用前景进行了简要分析。

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