Substrates; Aluminum nitride; III-V semiconductor materials; Temperature measurement; Surface morphology; Surface treatment; Stress;
机译:衬底温度和偏压对玻璃衬底上直流磁控溅射AlN膜性能的影响
机译:Ga掺杂的ZnO薄膜特性对不同溅射工艺参数的依赖性:衬底温度,溅射压力和偏置电压
机译:用于太阳能电池的RF溅射CdTe薄膜的与基底温度相关的结构,光学,形态和电学性质
机译:溅射AlN薄膜的基板温度和偏压依赖性,用于BAW应用
机译:氢退火和衬底温度对射频溅射氧化锌薄膜性能的影响
机译:溅射AlN:Er薄膜的基底温度相关特性用于Al / AlN多层涂层健康的原位发光传感
机译:溅射ALN的衬底温度依赖性:ER薄膜用于Al / Aln多层涂层健康的原位发光感测