Etching; Lithography; Flash memories; Plasmas; Atmosphere; Polymers;
机译:SiO_2刻蚀过程中高纵横比接触孔中电荷积累和侧壁电导率的晶圆上监测
机译:磁感应耦合等离子体中高纵横比接触孔的反应性离子刻蚀滞后研究
机译:使用由丙烯沉积的相对透明的无定形碳硬掩模进行高深宽比接触孔蚀刻
机译:三维闪存制造中高纵横比的高纵横比多级接触孔蚀刻工艺研究
机译:III-V半导体处理:触点,蚀刻和器件。
机译:结合PerMX干法抗蚀剂和SU-8技术制造的复杂的三维高纵横比微流体网络
机译:Cl2,Cl2 / O2和Cl2 / N2电感耦合等离子体工艺刻蚀InP中高纵横比光子晶体孔的比较研究
机译:使用siCl4 / BCl3 / Cl2化学品通过可制造的RIE工艺对通孔蚀刻进行批判性分析