Tools; Robots; System recovery; Petri nets; Semiconductor device modeling; Scheduling; Task analysis;
机译:基于Petri网的时间约束单臂集群工具的调度,并重新审视晶片:
机译:半导体制造中基于Petri网的单臂多集群工具最佳单晶片调度
机译:基于Petri网的可重入原子层沉积过程的单臂群集工具调度
机译:培养基于净僵局的避免单臂簇工具,同时处理两型晶片
机译:透明的数据流检测和在工作流调度中的使用:并发和避免死锁。
机译:BioNetSim:基于Petri网的建模工具用于模拟生化过程
机译:基于petri网的时间约束单臂群集工具调度与晶圆再访