—种单臂三自由度的晶圆传输机械手及使用方法

摘要

本发明涉及晶圆传输机械手领域，公开了—种单臂三自由度的晶圆传输机械手及使用方法，通过垂直移动组件、旋转组件与径向移动组件将机械爪的一端靠近顶层晶圆片的一侧上方，通过伸缩电机等设置，使得延伸板的一端逐渐靠近顶层晶圆片并位于晶圆片的上方，启动抽气组件，利用伯努利吸盘原理，使得通孔处的压强较小，继而使得顶层晶圆片被吸附至延伸板的一端，通过控制径向移动组件将顶层晶圆片向片盒外移动一段距离，继而便于后续使用真空发生器与吸盘对顶层晶圆片进行运输，同时，扩大片盒内的操作空间，便于机械爪运转后续晶圆片，通过反向电机等设置，吸盘发生翻转吸附晶圆片，扩大片盒的储存能力，提高空间利用率。