OPC; model; etch; contour; sampling; clustering; kernel; parameter space; SEM; contour;
机译:引入蚀刻内核以实现有效的图案采样和蚀刻偏差预测
机译:L1 0 sub>相FePt磁性介质制备的离子辅助等离子体刻蚀与掩埋掩模构图方法
机译:工艺建模双图案工艺中蚀刻步骤相互作用的探索
机译:用于蚀刻模型校准的模式采样
机译:用于计算复杂的水文和环境模拟模型的贝叶斯校准的更有效采样
机译:两阶段采样的半参数转换模型的校准加权估计
机译:可视化聚合物。聚合物系统形成的图案。 I.一种新型样品制备方法(深度蚀刻截面法)的开发和一些应用,用于使用透射电子显微镜观察聚合物材料的高阶结构。