multi electron beam lithography; electron optics; microcolumn; maskless lithography;
机译:大规模平行电子束光刻中用于纳米级光发射源的静电微柱设计
机译:用于大规模平行电子束光刻的皮尔斯式纳米晶硅电子发射器阵列的制作
机译:大规模并行电子束光刻的电子设计自动化流程演示
机译:大规模平行电子束光刻中具有不同孔的静电微柱的设计与制造
机译:用于电子束光刻应用的纳米电子器件的制造和表征。
机译:电子束和光学光刻技术在医药领域的聚乙二醇水凝胶结构的制备
机译:基于静电透镜孔结构的微柱的电子束性能
机译:利用高分辨率电子束光刻和分子束外延制作亚50nm手指间距和宽度高速金属半导体金属光电探测器