Residual stresses; Aluminum oxide; Plasma temperature; Atomic layer deposition; Refractive index;
机译:杨氏模量和原子层沉积Al2O3和Pt薄膜的测量
机译:用三甲基铝和双氧前驱体通过等离子体增强原子层沉积法沉积氧化铝薄膜的研究:界面和结构性质的研究
机译:本土显造等离子体增强原子层沉积系统沉积La2O3薄膜的光谱研究
机译:原子层沉积沉积薄膜的残余应力研究
机译:各种氧化物薄膜原子层沉积和热原子层蚀刻工艺的机械研究
机译:通过原子层沉积和化学气相沉积在高纵横比结构中沉积的薄膜的ToF-SIMS 3D分析
机译:原子层沉积沉积薄膜的残余应力研究