Silicon carbide; Stress; Resonant frequency; Microphones; Mathematical model; Cutoff frequency; Silicon;
机译:具有单晶硅膜片和背板的高性能电容式麦克风
机译:具有单晶硅膜片和背板的高性能电容式麦克风
机译:单深波纹膜片技术的硅电容传声器设计与制造
机译:基于碳化硅膜的冷凝器麦克风的机械分析
机译:微型硅麦克风振膜的测量和特性。
机译:带有波纹金属膜片和硅背板的CMOS MEMS电容式麦克风的实现
机译:具有氮化硅膜片和背板的硅胶冷凝器麦克风
机译:碳化硅基材料的高温发射率。第1卷:碳化硅基材料的高温正常光谱发射率。第2卷。热处理对碳化硅基材料发射率的影响。专题报道