Lab-on-chip; Thin film heaters; Temperature sensors; Amorphous silicon diodes; Polymerase chain reaction;
机译:尾态联合密度法研究氢化非晶碳化硅薄膜的室温光致发光光谱及其在等离子体沉积氢化非晶碳化硅薄膜中的应用
机译:在超薄硅膜上集成加热器和传感器图案的高温微反应器的制造
机译:薄膜加热器用于薄膜晶体管(TFT)应用的玻璃上非晶硅的固相结晶
机译:无定形硅温传感器与薄膜加热器集成,用于生物分子的热处理
机译:外延硅薄膜是由低温铝引起的非晶硅的结晶。
机译:在15 K至350 K的宽范围温度应用中在TCO膜中构图的加热传感器微系统的电气和热性能
机译:Micr Mical Sentor嵌入PT薄膜温度传感器的微加热器温度控制