机译:使用微气体传感器中嵌入的Pt薄膜温度传感器对微加热器进行温度控制
机译:Si微流控平台上热处理的薄膜Ti / Pt加热器和温度传感器特性的实验研究
机译:瞬态3ω-硅胶玻璃的热导率测量瞬态3ω型方法,采用创新方法制造的AU薄膜微加热器/温度传感器
机译:嵌入在金属结构中的微薄膜温度传感器
机译:通过嵌入在多晶立方氮化硼切削刀片中的新型微型薄膜传感器测量瞬态工具内部温度场。
机译:在15 K至350 K的宽范围温度应用中在TCO膜中构图的加热传感器微系统的电气和热性能
机译:研究用于高温薄膜加热器和温度传感器的材料