3D ICs; Cu electroplating; Supercritical-CO; TSV;
机译:使用超临界二氧化碳混合瓦特后电解液的电镀技术
机译:用超临界二氧化碳乳化电解质电镀制造的铜膜杂质研究
机译:使用超临界二氧化碳在含铜颗粒的硫酸铜基电解液中的悬浮液进行铜电镀
机译:通过在与超临界二氧化碳混合的电解质中电解质中电解铜制造通过硅通孔(TSV)
机译:硅通孔(TSV)的高质量镀铜的电解质和添加剂的分析特性
机译:用于3D电感器的高长宽比硅-Vias电镀的制备和优化
机译:用硅通孔电镀3D电感的高纵横比的制造和优化
机译:利用桑迪亚小型超临界二氧化碳布雷顿循环试验环数据开发超临界二氧化碳布雷顿循环和代码验证的aNL工厂动力学规范和控制策略。