MIM capacitors; high quality factor; integrated passive devices; suspended structure;
机译:通过晶圆转移技术(WTT)嵌入有机衬底的MIM电容器的RF,DC和可靠性性能,适用于系统级封装应用
机译:高性能悬挂螺旋电感器和晶圆级包装技术的带通滤波器
机译:采用晶圆级封装技术的悬浮高Q集成电感器
机译:晶圆级包装技术悬浮高Q MIM电容的设计与制造
机译:设计,制造和测试用于RF MEMS器件的保形,局部晶圆级封装。
机译:具有蛾眼减反射纳米结构的晶圆级微透镜阵列的设计与制作
机译:单面,倒装结合的玻璃上钛(FBTOG)技术用于悬吊高纵横比大块钛微结构的晶圆级批量制造。