Absorption; Aluminumoxide; Photovoltaiccells; Silicon; Surfacemorphology; Surfacetexture; Surfacetreatment; blacksilicon; isotexture; pyramids; surfacepassivation; texturing;
机译:黑色硅法-在轮廓控制下确定深硅沟槽刻蚀中基于氟的反应离子刻蚀参数设置的通用方法
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机译:蚀刻硅基衬底的三维纹理生物医学聚合物的制造和选择性表面改性。
机译:低温深反应离子蚀刻产生的黑硅中新蚀刻前沿的预测
机译:深度反应离子刻蚀的单晶硅器件的热迁移结隔离及其在惯性导航系统中的应用。
机译:直接飞秒激光制造在硅上的化学官能化超黑色纹理进行传感应用
机译:黑硅方法:通过轮廓控制确定深硅沟槽蚀刻中氟基反应离子蚀刻机参数设定的通用方法