electrical resistivity; epitaxy; four-point-probe; implantation; process control; sheet resistance;
机译:用于深离子注入的高能离子投影,是后续外延工艺的低成本高通量替代方案
机译:非马洛维亚流程的量子计量
机译:使用基于设计的计量方法对LELE过程进行多重曝光剂量控制。
机译:植入物和外延过程中高度稳定的四分探针计量
机译:Ⅱ-Ⅵ族化合物分子束外延和原子层外延的生长过程
机译:具有单一参数化过程的量子计量
机译:使用表面光电压技术的粘合sOI晶片的植入计量
机译:通过金属有机分子豆外延生长在Ge / p共注入Inp衬底上的Inp / InGaas异质结双极晶体管。