Fatigue; Geometry; Loading; Micromechanical devices; Silicon; Stress; Cantilevers; Eigen frequency; Number of cycles to failure; stress levels; tip-displacements;
机译:基于U形和矩形MEMS的三重耦合悬臂的设计仿真和分析
机译:Scaln / Aln梯形悬臂的设计和性能基于MEMS压电能量收割机
机译:基于迭代设备仿真,在高性能设备设计中使用自动设备优化的能力
机译:裂缝增长对悬臂式MEMS器件性能的影响:设计与仿真
机译:MEMS和微电子器件多层结构中疲劳裂纹扩展的数值模拟和实验。
机译:基于仿真的矩形微悬臂气溶胶质量传感器设计与优化
机译:基于异构环境的MEMS器件计算原型和仿真设计
机译:mEms和微电子器件多层结构疲劳裂纹扩展的数值模拟与实验