microfluidics; sputter etching; polymer films; polymerisation; vapour deposited coatings; carbon; parylene etching; microfluidics; bioMEMS; parylene C; thermoplastic polymers; crystalline polymers; parylene films; vapor deposition polymerization coating; dry etching; oxygen based plasmas; plasma etching; deep reactive ion etching; high aspect ratio;
机译:用于BioMEMS的硬微加工和软微加工:综述微流控技术和药物输送中的技术和应用实例。
机译:用于高压微流体的低温聚对二甲苯与二氧化硅的键合技术
机译:用于生物MEMS的聚对二甲苯C的微加工
机译:用于微流体和生物MEMS的聚对二甲苯蚀刻技术
机译:聚对二甲苯用作BioMEMS应用的新型膜材料。
机译:PDMS-Parylene混合灵活的微流体可实时调制3D螺旋惯性微流体
机译:用于微流体和biomEms的聚对二甲苯蚀刻技术