photoresists; semiconductor process modelling; digital simulation; masks; three-dimensional photoresist; photoresist exposure; development simulation; pattern transfer; semiconductor industry; feature sizes; nonplanarity; mask illumination; resist exposu;
机译:非平面形貌的严格三维光刻胶曝光和显影模拟
机译:具有反射效应的部分曝光后显影后光刻胶SU-8厚度的模拟模型
机译:正性光刻胶曝光和显影的计算机模拟
机译:三维光刻胶曝光和显影模拟
机译:EUV光致抗蚀剂暴露的二次电子相互作用
机译:SU-8厚光刻胶紫外光刻工艺的综合模拟
机译:用于波纹表面上共形光刻的电沉积光刻胶的X射线曝光
机译:用于波纹表面上共形光刻的电子沉积光刻胶的X射线曝光