Wavelength tuning of photonic crystal waveguides fabricated using 248-nm deep UV lithography

机译：使用248nm深紫色光刻制造光子晶体波导的波长调谐

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Wavelength tuning of characteristic features of straight photonic crystal waveguides has been obtained by varying the exposure dose in deep UV lithography. The experimental results agree very well with numerical simulations.

机译：通过改变深紫色光刻中的曝光剂量获得了直光子晶体波导的特征的波长调谐。实验结果与数值模拟非常吻合。

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来源
《International Conference on Telecommunications》|2011年||共1页
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作者
Zhuang Y.X.; Frandsen L.H.; Harpoth A.; Thorhauge M.; Kristensen M.; Borel P.I.; Bogaerts W.; Baets R.;
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中图分类 TN91-53;
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