机译:减少射频离子束溅射沉积制备的光学氮化硅薄膜中的残余应力
机译:减少射频离子束溅射沉积制备的光学氮化硅薄膜中的残余应力
机译:通过等离子增强化学气相沉积在硅膜上沉积的压缩预应力氮氧化硅膜的光机械特性
机译:样品中心内硅薄膜上铜膜上的溅射铜膜的残余应力表征
机译:硅上溅射沉积的镍钛薄膜的附着力和残余应力。
机译:通过离子束溅射在Si上形成超薄金薄膜涂层形成硅纳米点
机译:Pb的残余应力和电性能(Zr 0.52,Ti 0.48)O 3薄膜RF直接溅射Cu箔
机译:残余应力和粘附力对硅沉积铜薄膜硬度的影响